MDI微探头激光干涉仪HSI高速激光干涉仪
纤巧灵动、操作便捷
兼顾微小体积与超高测量分辨力
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极致高速、精准实时
专为超高速精密运动控制与高频振动测量设计
极致精度、臻于皮米
重新定义超精密点位移测量的物理极限
小巧便携、易于安装
满足复杂工业现场的高效原位测量与精度校验